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電子材料
半導(dǎo)體光刻膠用原材料
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱(chēng)
結(jié)構(gòu)式
吸收波長(zhǎng)
特性
應(yīng)用
下載
TR-PAG-20304
/
外觀:類(lèi)白色固體 純度:≥99.50% 單個(gè)金屬離子:≤10ppb 酸值:≤0.001mol/Kg
KrF光刻膠
TDS
TR-PAG-30204
/
外觀:類(lèi)白色固體 純度:≥99.50% 單個(gè)金屬離子:≤10ppb 酸值:≤0.001mol/Kg
KrF光刻膠
TDS
TR-PAG-40507
/
外觀:類(lèi)白色固體 純度:≥99.50% 單個(gè)金屬離子:≤200ppb 酸值:≤0.002mol/Kg
i線光刻膠
TDS
TR-PAG-42203
/
外觀:淡黃色固體 純度:≥99.50% 單個(gè)金屬離子:≤200ppb 酸值:≤0.002mol/Kg
i線光刻膠
TDS
TR-TM1302
/
外觀:淡黃色到無(wú)色液體 純度:≥99.00%
KrF光刻膠聚合物用單體
TDS
TR-B601
/
重均分子量:8000-15000 分子量分布:<1.8 水分:<0.5% 殘留單體:<1.0% 單個(gè)金屬離子:<50ppb 組成:HS=60-70%,ST=10-25% TBA=5-20%
KrF光刻膠聚合物PHS樹(shù)脂
TDS
TR-B602
/
重均分子量:15000±1000 分子量分布:1.50-1.80 殘留單體:<1.0% 單個(gè)金屬離子:<50ppb BOC:30±5%
KrF光刻膠聚合物PHS樹(shù)脂
TDS
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